Plasmas appliqués aux nanotechnologies
Micro- et nanofabrication
1650, boulevard Lionel-Boulet
Varennes (Québec) J3X 1S2
CANADA
Je dirige un programme de recherche axé sur les priorités suivantes : (i) poursuivre des études fondamentales de fine pointe dans le domaine des sources plasma, y compris les plasmas produits par laser et les plasmas de haute densité, (ii) capitaliser sur cette expertise plasma pour réaliser des travaux de recherche originaux et innovants en synthèse de couches minces et de nanomatériaux ainsi que sur le transfert de motifs nanométriques, et (iii) intégrer ces nouveaux matériaux et procédés plasma pour répondre à des besoins spécifiques de l'industrie, en particulier dans le domaine des dispositifs avancés RF et photoniques.
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